QUE-VZ-25-10: RF generátor

Předmět zakázky

Veřejná zakázka se týká nákupu sestavy RF generátoru s automatickým přizpůsobovacím členem, určeného pro tvorbu reaktivního mikroplazmatu. Tento systém bude využit pro přesné leptání fotonických struktur v optických materiálech s vysokou kontrolou procesních parametrů. Generátor musí poskytovat minimální výkon 500 W a pracovat v kmitočtovém standardu 13,56 MHz. Požadována je vysoká stabilita výstupního signálu a efektivní přizpůsobení zátěže v reálném čase pro optimalizaci plazmového procesu.