Rozšíření CVD pece

Předmět zakázky

Předmětem zakázky je dodávka zařízení, které rozšíří stávající instalace CVD pece o 4. pozici, která bude zajišťovat růst oxidu na křemíkových substrátech. Současná linka bude používána pro dopování fosforem, nebude tedy nutné zdlouhavě vyměňovat křemenné komponenty. Dodávka v rámci této veřejné zakázky bude obsahovat topnou trubici se zavaděčem (kompatibilní se současným karbidovým pádlem), přívod plynů (napojitelný na současný externí spalovač vodíku EBS), elektroniku a propojení se současným řídícím SW. Součástí zakázky je instalace do stávajícího rámu se 3 současnými trubicemi. Podrobně je předmět veřejné zakázky vymezen technickými, obchodními a jinými smluvními podmínkami, které jsou součástí zadávací dokumentace.