Mapovací elipsometr

Předmět zakázky

Předmětem této veřejné zakázky je dodávka mapovacího elipsometru se schopností mapování, automatického justování vzorku a jednoduché analýzu pro měření struktur na deponovaných/ leptaných površích s velkým rozlišením. Na vrstvách zvolených materiálů přístroj změří mapu tlouštěk, v případě známého substrátu i tlouštěk nejvyšší vrstvy z multivrstvy. Účelem zařízení je vytvořit podrobnou mapu tlouštěk vrstev v procesu litografie. Důležitá je rychlost mapování (probíhá bod po bodě) a snadnost zpracování výsledků. Vzorek se musí najustovat automaticky v každém měřeném bodě. Zařízení bude umístěno v nanofabrikační laboratoři splňující podmínky čistých prostor ISO5; zařízení musí být plně kompatibilní s těmito podmínkami. Podrobně je předmět veřejné zakázky vymezen technickými, obchodními a jinými smluvními podmínkami, které jsou součástí zadávací dokumentace.