Chemicko-mechanická leštička

Předmět zakázky

Předmětem této veřejné zakázky je dodávka zařízení pro abrazivní ztenčování a leštění desek z polovodičových materiálů včetně instalace, uvedení do provozu a zaškolení obsluhy. Přístroj bude využívat technologii chemického a mechanického leštění rotujícím ramenem za pomoci jemně abrazivní emulze a leptacích roztoků. Bude využíván na ztenčování a planarizaci desek polovodičových materiálů. Přístroj i používaná chemie budou zakrytovány a systém bude včetně úložního prostoru pro skladování a odvod chemického odpadu. Účelem požadovaného zařízení je leštění a ztenčování substrátů z polovodičových materiálů což zlepší technologickou úroveň v oblasti „back-end-of-line“ výroby čipových součástek a vzorků. Podrobně je předmět veřejné zakázky vymezen technickými, obchodními a jinými smluvními podmínkami, které jsou součástí zadávací dokumentace.