Systém pro depozici atomárních vrstev (ALD)

Předmět zakázky

Předmětem této veřejné zakázky je dodávka systému pro depozici atomárních vrstev (ALD), který bude využíván v laboratoři CEITEC Nano. Zařízení nanáší (deponuje) tenké vrstvy po monovrstvách na různé typy materiálů. Umožní deponovat oxidy (Al2O3, TiO2, SiO2), nitridy (AlN,TiN), sulfidy (ZnS,WS2) i čisté kovy (Pt, Fe). Nanášené vrstvy budou mít vysokou homogenitu v tloušťce a velmi dobře pokrývat strukturované a porózní materiály. Podrobně bude předmět veřejné zakázky vymezen technickými, obchodními a jinými smluvními podmínkami, které budou součástí zadávací dokumentace.