Dodávka systému magnetronového naprašování

Předmět zakázky

Předmětem plnění veřejné zakázky je dodávka systému magnetronového naprašování, vč. software a příslušenství. Systém musí být navržen pro magnetronové naprašování (i reaktivní) tenkých filmů (s tloušťkami min ~ 5nm) kovů, kovových slitin, oxidů kovů, nitridů kovů, vícevrstevnatých systémů, na substráty s velikostí v průměru minimálně 4" s prostorovou homogenitou naprašovaných vrstev +/- 2,5% nebo menší. Systém a jeho hardwarové komponenty musí být kompatibilní s teplotou ohřívače až do 1000 °C a teplotou vzorku/substrátu až do 800 °C. Velikost systému v konfiguraci bez chilleru musí být kompatibilní s velikostí laboratoře a tedy s max. rozměry 3 m x 1.7 m. Systém musí obsahovat softwarové ovládání založený na technologii tango, pro nastavení, monitorování a kontrolu depozičních podmínek nanášecího procesu a jeho plně automatický chod depozičního procesu. Software musí dále umožňoval plně automatickou úpravu a běh podmínek nanášení a také uložení a protokolování systémových a procesních parametrů. Systém magnetronového naprašování musí být kompletní se všemi senzory, vakuovými a hardwarovými komponenty, softwarem, adaptéry a konektory. Blíže viz zadávací podmínky.