UPT-VZ-24-01: Upgrade systému PlasmaLab 100 / PlasmaLab 100 system upgrade
Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.Vypsáno 6. 3. 2024
Řízení bylo zrušeno.
Zadavatel zrušil řízení.
ZrušenaVypsáno 6. 3. 2024
po lhůtě(do 20. 3. 2024 v 10:00)1,4 mil. CZKLaboratorní, optické a přesné přístroje a zařízení (mimo skel)
vypsánolhůta
Lhůta uplynula před 816 dní
Předmět zakázky
Jedná se o upgrade reaktivního iontového leptacího systému PlasmaLab (Oxford Instruments), díky kterému bude tento systém možné nadále efektivněji používat a také se tím prodlouží jeho doba životnosti. This upgrade of the PlasmaLab reactive ion etch system (Oxford Instruments) will allow the system to continue to be used more efficiently and also extend its lifetime
Načítáme seznam příloh…