UPT-VZ-21-03: Systém pro tvorbu masek a objektů metodou přímého UV laserového zápisu
Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.Vypsáno 31. 5. 2021
Zakázka byla zadána.
VyhodnocenaVypsáno 31. 5. 2021
po lhůtě(do 16. 6. 2021 v 10:00)3,4 mil. CZKSpeciální optické nástroje
Předmět zakázky
Předmětem veřejné zakázky je dodávka 1ks systému pro tvorbu masek a objektů metodou přímého UV laserového zápisu. Jedná se o zařízení pro 2D zápis 3D mikrostruktur a krycích rezistových masek UV světlo emitující diodou s přesností pod 1 mikrometr a umožňující zápis na substráty o velikosti až 150x150 mm2. Systém je pro precizní zápis vybaven přesným polohovacím stolem, autofokusem a programovým vybavením.
Načítáme seznam příloh…