UPT-VZ-21-06: Systém pro dynamické in-situ testování a 3D zobrazení v REM/EREM - Vakuová čerpací stanice turbo s měrkami a zobrazovacími jednotkami pro čerpání EREM

Předmět zakázky

Vakuová čerpací turbo stanice s měrkami tlaku plynu a zařízeními pro on-line monitoring tlaku plynu v čerpané soustavě bude použita jako externí/pomocná čerpací jednotka tubusu environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu, případně pro odčerpávání plynu z prostoru přídavné diferenciálně čerpané komory tohoto mikroskopu. Díky sníženému tlaku plynů v prostoru průchodu primárních elektronů bude dosaženo menšího rozptylu těchto elektronů a výsledně vyššího poměru signálu k šumu a rozlišení v obraze při zobrazování vlhkých vzorků, realizaci dynamických in-situ experimentů nebo při 3D zobrazování povrchové mikrostruktury vzorku v EREM.