Diamond layer growth technology from gas vapor in microwave plasma
Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.Vypsáno 4. 6. 2024
Řízení bylo zrušeno.
Zadavatel zrušil řízení.
ZrušenaVypsáno 4. 6. 2024
po lhůtě(do 19. 7. 2024 v 11:00)460 tis. EURZařízení pro řízení průmyslových procesů
vypsánolhůta
Lhůta uplynula před 686 dní
Předmět zakázky
Předmětem veřejné zakázky je dodávka pulzního mikrovlnného depozičního systému (2,45 GHz) pracujícího s vysokým výkonem (CW ≥2 kW, pulzní režim ≥4 kW) umožňujícího inicializaci plazmatu o vysoké hustotě v rozsahu provozních tlaků od 5 až 50 Pa a umožňující depozici na trojrozměrné substráty o výšce 2 cm a minimální ploše 10 cm.
Načítáme seznam příloh…