Diamond layer growth technology from gas vapor in microwave plasma - REISSUE

Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.Vypsáno 17. 8. 2024
Zakázka byla zadána.
VyhodnocenaVypsáno 17. 8. 2024
po lhůtě(do 31. 10. 2024 v 11:00)460 tis. EURZařízení pro řízení průmyslových procesů
vypsánolhůta

Lhůta uplynula před 580 dní

Předmět zakázky

Předmětem veřejné zakázky je dodávka pulzního mikrovlnného depozičního systému (2,45 GHz) pracujícího s vysokým výkonem (CW ≥2 kW, pulzní režim ≥4 kW) umožňujícího inicializaci plazmatu o vysoké hustotě v rozsahu provozních tlaků od 5 až 50 Pa a umožňující depozici na trojrozměrné substráty o výšce 2 cm a minimální ploše 10 cm.

Načítáme seznam příloh…